UVフェムト秒レーザー

特徴

・超短パルス幅
パルス幅がフェムト秒（1フェムト秒 = 1000兆分の1秒）レベルと極めて短く、瞬間的に高いピークパワーを発生させることができる。
材料への熱影響を最小限に抑えつつ、精密な加工が可能です。


・短波長（紫外線）
紫外線の短波長（通常は355 nmや266 nm）により、高い光子エネルギーを持ち、微細な加工が可能。


・高精度加工
紫外線の短波長とフェムト秒の超短パルス幅を組み合わせることで、極めて高精度で熱影響の少ない加工が可能。
微細な構造やナノスケールの加工に適している。


・熱影響の低減
パルス幅が極めて短いため、材料に与える熱ダメージが少なく、周囲の材料への影響を抑えながら加工できる。
脆い材料や熱に敏感な材料の加工にも適している。


・非線形吸収効果
UVフェムト秒レーザーは、非線形吸収（マルチフォトン吸収など）効果で、透明材料内部での選択的な加工が可能。
材料表面だけでなく内部にも微細な構造を作成できる。


・多様な材料への適用
金属、セラミックス、ガラス、ポリマーなど、幅広い材料に対して有効。
透明材料や反射率の高い材料の加工にも優れた性能を発揮する。


・非接触加工
レーザー光を用いた非接触加工のため、工具の摩耗がなく、再現性の高い加工が可能。


・微細構造の作成
微細な構造やナノスケールの加工が可能で、半導体や光学デバイス、医療機器などの高精度な製造プロセスに適している。


・高出力と高繰り返し周波数
高い平均出力と高繰り返し周波数を実現できるため、大量生産や高速加工にも適している。

主な用途

・OLED切断
・半導体ウェハ切断
・フィルムおよび箔の切断
・フレキシブル回路および低誘電率材料の加工

加工例

仕様